山武azbil蓝宝石隔膜真空计

蓝宝石隔膜真空计 SPG5/6/7的受压部采用了高耐腐蚀性、高耐热性且机械特性优异的单晶体蓝宝石，通过检测静电容量，即使在高温检测环境下也能实现高的检测重复性。
通过*的信号处理技术实现了温度特性、直线性等误差小的检测，由微加工技术而形成的蓝宝石传感器实现了小型、轻量化的自加热型隔膜真空计。

提高品质

真空计多数在有大的压力环境下使用，是容易因各种原因引起零点漂移的产品。真空计的零点漂移会影响控制量，从而会影响终产品的品质。蓝宝石隔膜真空计采用了零点不易漂移的构造。

提高生产性

减少了设备的停机时间。备有用于减少停机避免时间浪费的功能。

山武azbil蓝宝石隔膜真空计

概要

蓝宝石隔膜真空计SPG系列采用了蓝宝石静电容量式圧力传感器是具有高精度、高可靠性、高耐蚀性的小型・轻量的隔膜真空计主要用于半导体工艺流程

特长

采样高付腐蚀性、高时热性的单品体蓝宝石感压部材料采用具有高付蚀性、高热性、机械特性优异的单品体蓝宝石,通过静电容量检测方式,即使在高温检测环境下也可实现高的检测重复性

检测误差小

采用*的信号处理技术实现了温度特性、直线性等误差小的检测

・小型/轻量的本体

通过采用*的足微机械加工技术形成的蓝宝石传感器、实现了大幅度的小型/轻量化简单的零点调整功能通过Auto零点调整开关或 Up/Down零点调整开关,可简单地进行零点调整

・机器状态显示

通过LED足示,可一目了然地判断产品的状态(正常、预热中、异常)

·迅速启动和稳定的温度控制

通过采用了微处理器的数字PD运算对加热器进行温度控制实现了迅速启动和稳定的温度控制

·智能编程器软件包对应

智能编程器软件包对应(另售SLP-SP5J70)可方便地进行监视和参数的读写

符合CE

符合C指令、符合CE标识。(适合规格:EN61326、EN55011)

如有需要详情，请见：山武azbil蓝宝石隔膜真空计